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Delta质量流量计


一分pk10产品先容
       DELTA II流量比例计随着DELTA流量比例计的运用,优化工艺结果将变得容易。它可将殽杂的工艺气体按比例分为两路以增长匀称性等工艺参数。比例可从1:1至1:20。
       运用DELTA流量比例计(FRC)能容易失失要求的工艺遵从。FRC用于差异的流量疏散配置,如刻蚀、去胶和PECVD工艺配置中,FRC运用户可以大约将气体或殽杂气体分送至同一应声室中的两个差异地域。依据气体(或殽杂气体)及其设定比率,FRC会自动将气体分送到两个差异的出口。
       在新的和已有的工艺配置中运用FRC都很约莫。有大批程范围的流量(500sccm到10000sccm)可供选择。由于FRC在变乱中对峙一个低于大气压的管道压力,因此通常不消要防漏步伐。

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