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SEC-400MK3质量流量计


提要
       MARK3系列是在未革新质量流量计的风致特性的条件下完资源钱淘汰的量产一分pk10产品。材质和泄漏规格则与一样伟大型号一分pk10产品的SEC-400、SEC-500系列类似。紧张用途为制程用的气体流量控制、存眷于重复性以及限定气体的种类、流量举行大批斲丧、完成了大幅度的资源下降。妥当于定流量、永劫间的坚定控制重复控制的场所。并且也异常适用于研讨所的深入流量控制。

特性
       搭载热感阀
       完资源钱淘汰

规格
       SEC-400MK3
       气体打仗部材质:SUS-316、氟化橡胶
       阀门模范:NO:非通电时:开
       范例流量量程:10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5
       SLM :气氛、N2、O2、Ar、H2、He
       流量控制范围:百分之五以上的FS(满量程)
       流量精度:±百分之二的FS(满量程)
       SEC-500MK3
       气体打仗部材质:SUS-316、氟化橡胶
       阀门模范:NO:非通电时:开
       范例流量量程:10/20
       SLM:气氛、N2、O2、Ar、H2、He
       流量控制范围:百分之五以上的FS(满量程)
       流量精度:±百分之二的FS(满量程)

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